安裝使用歐姆龍光電傳感器,omron

沖擊(耐久) 500m/s2　X、Y、Z各方向 3次
消耗電流 投、受光器：各20mA以下
連接控制器數量 2臺 測量周期(﹡1) 16ms(高精度模式)、
帶有明亮易見的入光指示燈
0～50Hz 上下振幅1.5mm X、Y、Z各方向 2h
標準檢測物體 φ5mm以上的
8ms(標準模式)、5ms(高速模式)
顯示范圍 -999.99999～999.99999
不易受干擾光影響的變調光型
振動(耐久) 200～2,000Hz (zui大加速度100m/s2)
沖擊(耐久) 500m/s2 X、Y、Z各方向 3次

機型配備了入光時ON/遮光時ON的2路輸出，可根據使用情況 僅靠配線就能夠切換輸出。

能夠從多個方向確認指示燈，適用于各種設置 位置。

在NPN輸出型的OUT2控制輸出上，具備了采用熱敏元件切斷回路 的輸出過電流保護功能。

通過與導槽并用的方式設定落座位置

與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂

光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架

采用抗干擾光的變調光方式

安裝使用歐姆龍光電傳感器,omron
電源電壓 DC5V-5%～24V+10%
控制輸出 NPN開路接插件輸出
負載電流100mA以下、關機電流0.5mA以下
不透明物體 光源(zui大發光波長) GaAs
紅外發光二管(脈沖燈亮)(940nm)
指示燈 *1 入光時亮燈(紅色)
便于配線、維護的接插件方式
保護結構 IEC規格 IP50 振動(耐久)
電源電壓為DC5～24V的廣范圍
上下振幅1.5mm X、Y、Z各方向2h (4min周期)
連接傳感器探頭數量 1臺/控制器
保護結構 IEC規格 IP60 連接方式 接插件式(不可焊接)